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　　本文ღ✿ღ，我们将从中国大陆半导体设备企业的2022年业绩及专利情况ღ✿ღ、各细分领域国产化率ღ✿ღ、当下的机遇和挑战等方面梳理国内半导体设备企业的真实成绩与差距ღ✿ღ。

　　截至2023年2月1日ღ✿ღ，近100家半导体产业相关公司发布了2022年业绩预告ღ✿ღ，其中半数以上企业实现了净利润同比增长ღ✿ღ，且多为设备和材料类的半导体上市公司ღ✿ღ。增速大于100%的公司中就有拓荆科技秋山惠ღ✿ღ、芯源微ღ✿ღ、华海清科ღ✿ღ、长川科技ღ✿ღ、北方华创等多家半导体设备公司ღ✿ღ。

　　据悉ღ✿ღ，已公布的12家半导体设备公司2022年业绩预告均实现正增长ღ✿ღ。以增长下限计算ღ✿ღ，增长超1倍的有6家ღ✿ღ，9家增长下限均超30%ღ✿ღ。最为亮眼的拓荆科技业绩预告显示ღ✿ღ，预计公司2022年年度实现归属于母公司所有者的净利润与上年同期相比增长381.85%至484.06%ღ✿ღ。

　　拓荆科技在公告中表示ღ✿ღ，业绩较上年同期大幅增长的主要原因是受益于国内半导体行业良好的发展态势ღ✿ღ，国内半导体行业设备需求增加ღ✿ღ，该公司加大了产品研发投入ღ✿ღ，产品结构不断优化ღ✿ღ，产品竞争力持续增强ღ✿ღ，进一步拓展客户群体ღ✿ღ，本年销售订单大幅增加ღ✿ღ，营业收入维持高增长趋势ღ✿ღ。

　　据了解ღ✿ღ，截至2022Q3末ღ✿ღ，11家半导体设备企业存货和合同负债分别达到133和284亿元凯发k8真人娱乐ღ✿ღ，分别同比增长69%和76%ღ✿ღ，达到历史最高点ღ✿ღ，验证在手订单饱满ღ✿ღ。考虑到已有订单取消概率不大ღ✿ღ，随着相关订单陆续交付ღ✿ღ，2022Q4和2023年行业业绩高增长有较强确定性ღ✿ღ。

　　专利实力往往是企业技术创新水准与市场话语权的重要体现ღ✿ღ，国内半导体设备企业对其核心技术进行全面的专利布局ღ✿ღ，能够在该领域占据更有利的竞争地位ღ✿ღ。

　　从榜单中可以看出凯发k8真人娱乐ღ✿ღ，北方华创ღ✿ღ、上海微电子和中科院光电所技术创新优势明显ღ✿ღ，位列前三位ღ✿ღ。作为半导体设备行业龙头ღ✿ღ，它们也是当前设备领域国产替代的主力军ღ✿ღ。北方华创一直致力于生产薄膜沉积ღ✿ღ、刻蚀两种核心工艺设备ღ✿ღ。上海微电子以光刻设备研发为核心ღ✿ღ，其专利布局主要集中于***ღ✿ღ、工件台凯发k8真人娱乐ღ✿ღ、测量装置ღ✿ღ、投影物镜秋山惠ღ✿ღ、预对准等专业技术领域ღ✿ღ。

　　目前ღ✿ღ，产业链上下游企业都在尝试攻关半导体核心设备ღ✿ღ，如上海微电子ღ✿ღ、中微半导体ღ✿ღ、北方华创等在尝试突破一些高端设备ღ✿ღ，其中北方华创刻蚀设备已应用于7纳米和5纳米生产线ღ✿ღ；中微半导体刻蚀机已经达到5nm水平ღ✿ღ，并应用于台积电产线ღ✿ღ。但先进设备研发难度很高ღ✿ღ，国内厂商仍任重道远ღ✿ღ。

　　根据SIA数据统计ღ✿ღ，全球半导体设备大致可以分为11大类ღ✿ღ，50多种机型ღ✿ღ。前道设备用于晶圆制造过程ღ✿ღ，覆盖从光片到晶圆的成百上千道工序ღ✿ღ，主要有***ღ✿ღ、刻蚀机ღ✿ღ、薄膜沉积机ღ✿ღ、离子注入机ღ✿ღ、CMP设备ღ✿ღ、清洗机ღ✿ღ、前道检测设备和氧化退火设备八大类ღ✿ღ，前道设备占据了整个市场的80%～85%ღ✿ღ，其中***ღ✿ღ、刻蚀机和薄膜设备是价值量最大的三大环节ღ✿ღ，各自所占的市场规模均达到了前道设备总量的20%以上ღ✿ღ；后道设备主要分为测试设备和封装设备ღ✿ღ。

　　目前ღ✿ღ，全球前5大半导体设备厂商均属于前道设备的应用厂商ღ✿ღ，分别为应用材料ღ✿ღ、ASMLღ✿ღ、东京电子ღ✿ღ、泛林半导体ღ✿ღ、柯磊ღ✿ღ，其中3家平台型横跨刻蚀ღ✿ღ，薄膜ღ✿ღ，清洗ღ✿ღ，离子注入等多个领域ღ✿ღ。排名前10的厂商中5家日本公司ღ✿ღ，4家美国公司ღ✿ღ，1家荷兰公司ღ✿ღ，寡头格局明显ღ✿ღ。

　　2021年国内半导体设备市场规模同比增长58.23%ღ✿ღ，以296.2亿美元销售金额保持全球半导体设备第一大市场ღ✿ღ，预计2023年中国大陆半导体市场规模将达3032亿元ღ✿ღ，增长势头强劲ღ✿ღ。

　　根据SEMI数据显示ღ✿ღ，2022年中国晶圆厂商半导体设备国产化率较2021年明显提升ღ✿ღ，从21%提升至35%ღ✿ღ。国产半导体设备公司经过多年的技术攻关以及国家政策支持ღ✿ღ，目前能满足下游晶圆厂商大部分成熟制程（28nm及以上的逻辑芯片等）以及少部分先进制程的需求ღ✿ღ。

　　目前在28nm及以上的逻辑芯片秋山惠凯发k8真人娱乐ღ✿ღ、128层以下的NAND存储芯片以及20nm以上的DRAM芯片的主要设备中ღ✿ღ，国产设备在刻蚀ღ✿ღ、薄膜沉积ღ✿ღ、清洗ღ✿ღ、涂胶显影等大部分都可以进行替代ღ✿ღ。特别是检测设备替代速度较快ღ✿ღ。去胶设备国产采用率已达91%

　　尽管国内半导体设备基本摆脱完全受制于人的局面ღ✿ღ，但国内设备厂商目前仍然只是“点”的突破ღ✿ღ，尚未实现“面”的普及ღ✿ღ，缺乏成套设备的供应ღ✿ღ，设备的精度也不够ღ✿ღ，只能满足中低端芯片的生产ღ✿ღ，难以打入高端芯片生产线ღ✿ღ。尤其是***等“卡脖子”的关键设备研发尚未有明显进展ღ✿ღ，上海微电子是我国唯一可量产***的企业秋山惠ღ✿ღ，其90nm DUV***在2016年已经通过验收ღ✿ღ，但45nmღ✿ღ、28nm***仍在研发过程中尚未量产ღ✿ღ，亟待突破ღ✿ღ。

　　从上文的各项数据来看ღ✿ღ，全球半导体设备市场几乎被美日荷所垄断ღ✿ღ，核心设备如光刻ღ✿ღ、刻蚀ღ✿ღ、PVDღ✿ღ、CVDღ✿ღ、氧化/扩散等设备的Top3市占率普遍在90%以上ღ✿ღ。除技术差距及美国的限制外ღ✿ღ，国内在投资ღ✿ღ、人才ღ✿ღ、市场竞争等方面都面临极大挑战ღ✿ღ。

　　不过好的一点是ღ✿ღ，中国半导体设备市场规模扩大持续提速ღ✿ღ，近五年行业规模复合增速高达35%ღ✿ღ。随着下游晶圆厂订单和验证效率的提升ღ✿ღ，预计2022～2025将是半导体国产设备的放量期ღ✿ღ，高增速有望延续ღ✿ღ，这对半导体设备国产化进程而言势必是有利的ღ✿ღ。同时ღ✿ღ，封锁之下的国产设备企业势必也会迎来更快速的成长ღ✿ღ。

　　*免责声明ღ✿ღ：本文由作者原创ღ✿ღ。文章内容系作者个人观点凯发k8真人娱乐ღ✿ღ，贞光科技二次整理ღ✿ღ，不代表贞光科技对该观点赞同或支持ღ✿ღ，仅为行业交流学习之用ღ✿ღ，如有异议凯发k8真人娱乐ღ✿ღ，欢迎探讨ღ✿ღ。

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　　业绩解读ღ✿ღ，逆势增长秋山惠ღ✿ღ，中国市场是重要支撑 /

　　来源ღ✿ღ：芯智讯ღ✿ღ，谢谢 编辑ღ✿ღ：感知芯视界 万仞 2024年1月2日消息凯发k8真人娱乐ღ✿ღ，据企查查资料显示ღ✿ღ，由拓荆科技凯发k8真人娱乐ღ✿ღ、中科飞测ღ✿ღ、盛美上海ღ✿ღ、微导纳米这4家

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